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外层半自动CCD平行曝光机

 外层半自动CCD平行曝光机 UVE-HSP5KAC
内 容 规 格
A.一般规格
电力系统 AC380V 3φ 50/60HZ
平行光系统 光 源: Hg-Xe短弧灯,输出功率5KW,单灯 ,双面曝光
平行半角(CHA):约 2o
倾斜角(DA): <2o
均匀度 : 85%
强 度: 20mw/cm2 @ 365 nm 在玻璃台面上量测
有效曝光面积: 546 x 622 mm (21.5" x 24.5")
Panel规格 尺寸: 305 x 355 mm 至 546 x 622 mm ( 12" x 14" 至 21.5" x 24.5")
厚度: 0. 1 mm 至 3.0 mm( 0.004" 至 0.117" )
曝光作业 高强度/双面曝光
对位系统 1.CCD 数量 : 4 个(可自行设定 2只 / 3只 CCD对位或底片监控)
2.清底片警报功能程序(片数可设定)
3.可选择单面曝光
4.任取CCD取像判读固定取像CCD判读
5.制程板对位 : 自动对位 ± 15 µm 6.CCD 移动 :自动到位
7.底片固定 :双沟槽式真空吸附8.底片对位 :自动对位
曝光量设定 可程序时间设定曝光 3 组,可程序能量设定曝光 4 组
操作方式 操作系统 :大型触摸屏操作接口(PC+PLC)
机台尺寸 外部尺寸:L 3230 x W 1400 x H 2060 + 120 mm:L3390 x W1545 x H2270
环控箱: L1300 x W700 x H1930
B.系统架构
曝光台框  双曝光台面,玻璃 VS 玻璃(真空吸嘴φ8mm)
内建台框玻璃真空保护装置
冷 却  灯 室 : 由环控箱吹入灯箱冷却
曝光室 : 气冷,抽取室内空气经HEPA吹入曝光室
洁净控制 洁净度等级 : Class 5000 HEPA 高级滤网
UV光源监控 光源保护 : UV灯源点灯/熄灯/重点灯保护
功率控制 : D/A转换瓦数微调输出
状态监视 : 内建电压、电流、功率及UV强度传感器
遮 光 器 : 横向开启,装置于灯室内
曝光监控 : 内建UV能量积算器

企业商机信息

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企业产品信息

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